真空機(jī)器人(真空模組)，可以在10-7Pa的真空環(huán)境下運(yùn)行，耐溫達(dá)200℃，真空機(jī)器人的設(shè)計(jì)首要考慮機(jī)構(gòu)和材料。此系列產(chǎn)品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实偷牟牧稀４讼盗挟a(chǎn)品主要應(yīng)用于真空室、高溫室、高潔凈度環(huán)境。
Vacuum linear module is able to work in 10-7 Pa vacuum environments and heatresistance up to 200℃, structure and material is the primary consideration whiledesigning. The stainless steel is applied mostly, as well as the equal thermalexpansion coefficient and low out-gassing material. This series of product is mainlyused in vacuum, high temperature and high cleanliness environments.
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
| 主體寬度（mm） | 120 |
| 標(biāo)準(zhǔn)行程（mm）*可定制行程 | 50-800，增量50mm
|
| 滾珠絲桿直徑（mm） | 16 |
| 滾珠絲桿導(dǎo)程（mm） | 5 | 10 | 16 |
| 額定推力(N) | 430 | 260 | 100 |
| 絲桿動(dòng)載荷（KN） | 13.5 | 10.8 | 10.01
|
| 最高速度（mm/s） | 250（伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)）
| 500（伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)） | 800（伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)） |
| 電機(jī)連接方式 | 直聯(lián)式（聯(lián)軸器）、折彎式（同步帶）、轉(zhuǎn)折式（轉(zhuǎn)向器）
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| 滾珠絲桿精度等級(jí) | C3 | C5 | C7 |
| 重復(fù)定位精度（mm） | ±0.01 | ±0.02 | ±0.05 |
額定水平負(fù)載（kg） | 50 |
| 額定垂直負(fù)載（kg） | 25 |
| 最大偏心力矩（Nm） | MR=180 MP=214 MY=21 |
| 工作溫度（℃） | 常規(guī)-60℃+100℃； 可定制-196℃，最高溫度+200℃ |
最高真空度（Pa，可定制）
| 10-7 |
適配電機(jī) | 步進(jìn)57/60/86mm； 伺服100W、 200W、400W、750W |
產(chǎn)品圖展示
備注：上圖尺寸僅供參考，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取2D圖紙或者3D模型
120模組外形/安裝尺寸
| 有效行程mm | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | 600 | 650 | 700 | 750 | 800 |
| L | 317 | 367 | 417 | 467 | 517 | 567 | 617 | 667
| 717 | 767 | 817 | 867 | 917 | 967 | 1017
| 1067 |
| A | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5 | 54.5 | 29.5
|
| M | 2
| 3 | 3 | 4 | 4 | 5 | 5 | 6 | 6 | 7 | 7 | 8 | 8 | 9 | 9 | 10 |
| N | 6 | 8 | 8 | 10 | 10 | 12 | 12 | 14 | 14 | 16 | 16 | 18 | 18 | 20 | 20 | 22 |
重量/kg （不含電機(jī)） | 4.66 | 5.24 | 5.82 | 6.4 | 6.98 | 7.55 | 8.13 | 8.71 | 9.29
| 9.87 | 10.45 | 11.02 | 11.6 | 12.18 | 12.76 | 13.34 |
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