真空機器人(真空模組)，可以在10-7Pa的真空環境下運行，耐溫達200℃，真空機器人的設計首要考慮機構和材料。此系列產品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數相當的并且出氣率低的材料。此系列產品主要應用于真空室、高溫室、高潔凈度環境。
Vacuum linear module is able to work in 10-7 Pa vacuum environments and heatresistance up to 200℃, structure and material is the primary consideration whiledesigning. The stainless steel is applied mostly, as well as the equal thermalexpansion coefficient and low out-gassing material. This series of product is mainlyused in vacuum, high temperature and high cleanliness environments.
產品特點
技術參數
| 主體寬度（mm） | 95 |
| 標準行程（mm）*可定制行程 | 50-800，增量50mm
|
| 滾珠絲桿直徑（mm） | 16 |
| 滾珠絲桿導程（mm） | 5 | 10 | 16 |
| 額定推力(N) | 430 | 260 | 100 |
| 絲桿動載荷（KN） | 13.5 | 10.8 | 10.01
|
| 最高速度（mm/s） | 250（伺服電機驅動時）
| 500（伺服電機驅動時） | 800（伺服電機驅動時） |
| 電機連接方式 | 直聯式（聯軸器）、折彎式（同步帶）、轉折式（轉向器）
|
| 滾珠絲桿精度等級 | C3 | C5 | C7 |
| 重復定位精度（mm） | ±0.01 | ±0.02 | ±0.05 |
額定水平負載（kg） | 40 |
| 額定垂直負載（kg） | 20 |
| 最大偏心力矩（Nm） | MR=160 MP=150 MY=150 |
| 工作溫度（℃） | 常規-60℃+100℃； 可定制-196℃，最高溫度+200℃ |
最高真空度（Pa，可定制）
| 10-7 |
適配電機 | 步進42/57/60/86mm； 伺服100W、 200W、400W、750W |
產品圖展示
備注：上圖尺寸僅供參考，請聯系我們獲取2D圖紙或者3D模型
95模組-雙軌道外形/安裝尺寸
| 有效行程mm | 50 | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | 450 | 500 | 550 | 600 | 650 | 700 | 750 | 800 |
| L | 292 | 342 | 392 | 442 | 492 | 542 | 592 | 642
| 692 | 742 | 792 | 842 | 892 | 942 | 992 | 1042
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| A | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 | 64.5 | 39.5 |
| M | 1
| 2 | 2 | 3 | 3 | 4 | 4 | 5
| 5 | 6 | 6 | 7 | 7 | 8 | 8 | 9 |
| N | 4 | 6 | 6 | 8 | 8 | 10 | 10 | 12 | 12 | 14 | 14 | 16 | 16 | 18 | 18 | 20 |
重量/kg （不含電機） | 4.6
| 5.08 | 5.55 | 6.03 | 6.5 | 6.98 | 7.46 | 7.94 | 8.41
| 8.89 | 9.37 | 9.85 | 10.32 | 10.8 | 11.28 | 11.75 |
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